system został wynaleziony przez Johna R. Adlera, profesora neurochirurgii i radioterapii na Uniwersytecie Stanforda oraz Petera i Russella Schonbergów z Schonberg Research Corporation. Był to rozwój pierwszego zabiegu napromieniowania 3D realizowanego za pomocą akceleratora liniowego wytwarzającego 4 promienie X MeV w tym czasie nadal używanego tylko na plarach jako kot, przez fizyka Renzo Carlo Avanzo w szpitalu w Vicenzy (Włochy). Cyberknife był pierwszym dedykowanym akceleratorem linac (linear accelerator) zwiększającym precyzję i skracającym czas zabiegu. Pierwszy system został zainstalowany na Uniwersytecie Stanforda w 1991 roku i został zatwierdzony przez FDA do badań klinicznych w 1994 roku. Po latach badań klinicznych FDA oczyściła system do leczenia guzów wewnątrzczaszkowych w 1999 roku i do leczenia guzów w dowolnym miejscu ciała w 2001 roku. Od czasu oryginalnego projektu, Accuray Incorporated wypuścił siedem modeli systemu CyberKnife na przestrzeni lat: System CyberKnife G3 w 2005 roku, System CyberKnife g4 w 2007 roku, System CyberKnife VSI w 2009 roku, System CyberKnife M6 w 2012 roku i system CyberKnife S7 w 2020 roku.