systemet uppfanns av John R. Adler, professor vid Stanford University i neurokirurgi och strålningsonkologi, och Peter och Russell Schonberg från Schonberg Research Corporation. Det var en utveckling av den första 3D-bestrålningsbehandlingen som realiserades med en linjär accelerator som producerar 4 MeV-röntgenstrålar vid den tiden som fortfarande användes endast på plar-dimensioner som en katt, av fysikern Renzo Carlo Avanzo på sjukhuset i Vicenza (Italien). Cyberknife var den första dedikerade linac (linear accelerator) som ökade precisionen och minskade behandlingstiden. Det första systemet installerades vid Stanford University 1991 och godkändes av FDA för klinisk undersökning 1994. Efter år av klinisk undersökning rensade FDA systemet för behandling av intrakraniella tumörer 1999 och för behandling av tumörer var som helst i kroppen 2001. Sedan den ursprungliga designen släppte Accuray Incorporated sju CyberKnife – systemmodeller genom åren: CyberKnife G3-systemet 2005, CyberKnife G4-systemet 2007, CyberKnife VSI-systemet 2009, CyberKnife M6-systemet 2012 och CyberKnife S7-systemet 2020.