järjestelmän keksivät John R. Adler, Stanfordin yliopiston neurokirurgian ja säteilyn onkologian professori, sekä Peter ja Russell Schonberg Schonberg Research Corporationista. Se oli kehitystä ensimmäinen 3D säteilytys hoito toteutetaan lineaarinen kiihdytin tuottaa 4 MeV röntgensäteitä tuolloin vielä käytetään vain plar mitat kuin kissa, jonka fyysikko Renzo Carlo Avanzo sairaalassa Vicenza (Italia). Cyberknife oli ensimmäinen oma linac (linear accelerator), joka lisäsi tarkkuutta ja lyhensi käsittelyaikaa. Ensimmäinen järjestelmä asennettiin Stanfordin yliopistoon vuonna 1991 ja FDA hyväksyi sen kliinistä tutkimusta varten vuonna 1994. Vuosien kliinisen tutkimuksen jälkeen FDA hyväksyi järjestelmän kallonsisäisten kasvainten hoitoon vuonna 1999 ja kasvainten hoitoon kaikkialla kehossa vuonna 2001. Alkuperäisen suunnittelun jälkeen Accuray Incorporated julkaisi seitsemän CyberKnife-Järjestelmämallia vuosien varrella: CyberKnife G3-järjestelmän vuonna 2005, CyberKnife G4-järjestelmän vuonna 2007, CyberKnife VSI-järjestelmän vuonna 2009, CyberKnife M6-järjestelmän vuonna 2012 ja CyberKnife S7-järjestelmän vuonna 2020.