a rendszert John R. Adler, a Stanford Egyetem idegsebészeti és sugár onkológiai professzora, valamint Peter és Russell Schonberg, a Schonberg Research Corporation feltalálta. Ez volt az első 3D besugárzási kezelés kifejlesztése, amelyet egy lineáris gyorsítóval valósítottak meg, amely 4 MeV röntgensugarat termelt abban az időben, amelyet még mindig csak PLAR méreteken használtak macskaként, Renzo Carlo Avanzo fizikus a Vicenza kórházban (Olaszország). A Cyberknife volt az első dedikált linac (lineáris gyorsító), amely növelte a pontosságot és csökkentette a kezelés idejét. Az első rendszert 1991-ben telepítették a Stanford Egyetemen, és az FDA 1994-ben engedélyezte klinikai vizsgálat céljából. Több éves klinikai vizsgálat után az FDA 1999-ben megtisztította a rendszert az intrakraniális daganatok kezelésére, 2001-ben pedig a test bármely részén lévő daganatok kezelésére. Az Accuray Incorporated Az évek során hét CyberKnife Rendszermodellt adott ki: a CyberKnife G3 rendszert 2005-ben, a CyberKnife G4 rendszert 2007-ben, a CyberKnife VSI rendszert 2009-ben, a CyberKnife M6 rendszert 2012-ben és a CyberKnife S7 rendszert 2020-ban.