このシステムは、スタンフォード大学の脳神経外科および放射線腫瘍学の教授であるJohn R.Adlerと、Schonberg Research CorporationのPeter and Russell Schonbergによって発明されました。 これは、イタリアのヴィチェンツァ病院の物理学者レンツォ-カルロ-アバンゾによって、当時4MeVのX線を生成する線形加速器で実現された最初の3D照射処理の開発であった。 サイバーナイフは、精度を向上させ、治療の時間を短縮する最初の専用ライナック（線形加速器）でした。 最初のシステムは1991年にスタンフォード大学に設置され、1994年に臨床調査のためにFDAによってクリアされました。 臨床調査の年後でFDAは1999年にintracranial腫瘍の処置と2001年にボディの腫瘍の処置のためのシステムをどこでも取り除いた。 2005年にCyber Knife G3システム、2007年にCyber Knife G4システム、2009年にCyber Knife VSIシステム、2012年にCyber Knife M6システム、2020年にCyber Knife S7システムの7つのCyber Knifeシステムモデ