o sistema foi inventado por John R. Adler, um professor da Universidade de Stanford de neurocirurgia e oncologia da radiação, e Peter e Russell Schonberg da Schonberg Research Corporation. Foi um desenvolvimento do primeiro tratamento de irradiação 3D realizado com um acelerador linear produzindo 4 raios X MeV na época ainda usado apenas em dimensões plar como um gato, pelo físico Renzo Carlo Avanzo no hospital de Vicenza (Itália). O Cyberknife foi o primeiro linac dedicado (acelerador linear) aumentando a precisão e diminuindo o tempo do tratamento. O primeiro sistema foi instalado na Universidade de Stanford em 1991 e foi liberado pela FDA para investigação clínica em 1994. Após anos de investigação clínica a FDA limpou o sistema para o tratamento de tumores intracranianos em 1999 e para o tratamento de tumores em qualquer parte do corpo em 2001. Desde o projeto original, Accuray Incorporados lançou sete modelos de Sistema CyberKnife ao longo dos anos: o CyberKnife G3 Sistema em 2005, o CyberKnife G4 Sistema em 2007, o CyberKnife VSI Sistema em 2009, o CyberKnife M6 Sistema de 2012, e o CyberKnife S7 Sistema em 2020.