sistemul a fost inventat de John R. Adler, profesor la Universitatea Stanford de neurochirurgie și oncologie radiologică, și Peter și Russell Schonberg de la Schonberg Research Corporation. A fost o dezvoltare a primului tratament de iradiere 3D realizat cu un accelerator liniar care produce 4 raze X MeV la acel moment încă folosit doar pe dimensiunile plar ca pisică, de către fizicianul Renzo Carlo Avanzo din spitalul din Vicenza (Italia). Cyberknife a fost primul linac dedicat (accelerator liniar) crescând precizia și scăzând timpul tratamentului. Primul sistem a fost instalat la Universitatea Stanford în 1991 și a fost aprobat de FDA pentru investigații clinice în 1994. După ani de investigații clinice, FDA a eliminat sistemul pentru tratamentul tumorilor intracraniene în 1999 și pentru tratamentul tumorilor oriunde în organism în 2001. De la designul original, Accuray Incorporated a lansat șapte modele de sisteme CyberKnife de-a lungul anilor: sistemul CyberKnife G3 în 2005, sistemul CyberKnife G4 în 2007, sistemul CyberKnife VSI în 2009, sistemul CyberKnife M6 în 2012 și sistemul CyberKnife s7 în 2020.