Le système a été inventé par John R. Adler, professeur de neurochirurgie et de radio-oncologie à l’Université de Stanford, et Peter et Russell Schonberg de Schonberg Research Corporation. Il s’agissait d’un développement du premier traitement d’irradiation 3D réalisé avec un accélérateur linéaire produisant des rayons X de 4 MeV à l’époque encore utilisé uniquement sur des dimensions plar comme un CHAT, par le physicien Renzo Carlo Avanzo à l’hôpital de Vicence (Italie). Le Cyberknife a été le premier linac (accélérateur linéaire) dédié augmentant la précision et diminuant la durée du traitement. Le premier système a été installé à l’Université de Stanford en 1991 et a été autorisé par la FDA pour une investigation clinique en 1994. Après des années d’investigation clinique, la FDA a autorisé le système pour le traitement des tumeurs intracrâniennes en 1999 et pour le traitement des tumeurs n’importe où dans le corps en 2001. Depuis la conception originale, Accuray Incorporated a lancé sept modèles de systèmes CyberKnife au fil des ans : le système CyberKnife G3 en 2005, le système CyberKnife G4 en 2007, le système CyberKnife VSI en 2009, le système CyberKnife M6 en 2012 et le système CyberKnife S7 en 2020.