het systeem is uitgevonden door John R. Adler, hoogleraar neurochirurgie en radioncologie aan de Stanford-universiteit, en Peter en Russell Schonberg van Schonberg Research Corporation. Het was een ontwikkeling van de eerste 3D bestraling behandeling gerealiseerd met een lineaire versneller produceren 4 MeV röntgenstralen op dat moment nog alleen gebruikt op plar afmetingen als kat, door de natuurkundige Renzo Carlo Avanzo in het ziekenhuis van Vicenza (Italië). De Cyberknife was de eerste Linac (linear accelerator) die de precisie en de duur van de behandeling verbeterde. Het eerste systeem werd geïnstalleerd aan de Stanford universiteit in 1991 en werd goedgekeurd door de FDA voor klinisch onderzoek in 1994. Na jaren van klinisch onderzoek ontruimde de FDA het systeem voor de behandeling van intracraniale tumoren in 1999 en voor de behandeling van tumoren overal in het lichaam in 2001. Sinds het oorspronkelijke ontwerp heeft Accuray Incorporated zeven CyberKnife-systeemmodellen uitgebracht: het CyberKnife G3-systeem in 2005, het CyberKnife G4-systeem in 2007, het CyberKnife VSI-systeem in 2009, het CyberKnife M6-systeem in 2012 en het CyberKnife S7-systeem in 2020.